一种基于T型气浮导轨的运动平台.pdfVIP

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  • 2023-08-06 发布于四川
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本实用新型提供了一种基于T型气浮导轨的运动平台,包括:隔震基台,隔震基台设置有第一X向导轨基座和第二X向导轨基座,Y向导轨基座沿Y向固定在第一X向导轨基座和第二X向导轨基座之间,Y向侧边导轨贴合设置在Y向导轨基座的前后外侧端面上,Y向侧边导轨上安装有真空预压气浮件,Y向工作台固定在Y向侧边导轨顶部;第一X向侧边导轨和第二X向侧边导轨分别贴合设置在第一X向导轨基座的左右两侧,X向工作台固定在第一X向侧边导轨和第二X向侧边导轨顶部。本基于T型气浮导轨的运动平台,通过将X、Y方向运动模块位于同一基准平

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209998755 U (45)授权公告日 2020.01.31 (21)申请号 20192

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