微电子用MOS级盐酸生产线.pdfVIP

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  • 2023-08-06 发布于四川
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本实用新型涉及一种微电子用MOS级盐酸生产线,包含原料罐(1)、所述原料罐与精馏塔(3)相连通,所述精馏塔(3)与预加热塔(5)相连通,所述精馏塔(3)与废料储罐(4)相连通,所述预加热塔(5)与冷凝塔(6)相连通,所述冷凝塔(6)与超滤器(7)相连通,所述超滤器(7)与成品储罐(8)相连通,所述冷凝塔(6)与吸废塔(9)相连通;本实用新型通过预加热塔进(5)行一级过滤,并将预加热塔(5)内残留的高温杂液抽至精馏塔(3)内与刚进入的常温原料进行热交换,对原料进行预热,降低加热器的能耗,节约了成本

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210012586 U (45)授权公告日 2020.02.04 (21)申请号 20192

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