共蒸发镀膜设备的腔体.pdfVIP

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  • 2023-08-07 发布于四川
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本实用新型公开了一种共蒸发镀膜设备的腔体,包括腔体上顶板、腔体下底板及腔体侧板,腔体上顶板与腔体下底板通过腔体侧板固定连接,腔体上顶板其下表面转动连接有工件连接架,腔体下底板上固定设置蒸镀基片,蒸镀基片与腔体下底板之间设置蒸镀热源;工件连接架包括竖向的连接杆、固定连接在连接杆下端的横向柱,横向柱上固定连接两块工件连接板,两块工件连接板呈一定角度设置形成V字形;蒸镀基片呈V字形。本实用新型能够适用于呈锥形工件的镀膜工作,甚至能够实现镀膜时蒸镀基片的自动旋转,使得蒸镀的整个过程更加均匀,使得蒸镀蒸汽

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210030872 U (45)授权公告日 2020.02.07 (21)申请号 20192

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