一种扫描式基片表面检测装置.pdfVIP

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2023-08-07 发布于四川
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一种扫描式基片表面检测装置.pdf

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本实用新型提供一种扫描式基片表面检测装置，利用液滴在基片表面的运动检测基片的均匀性，装置方法简单，不对基片表面造成损伤，适合于核心区域的定点检测以及常规检测。在检测的过程中，基片倾斜一定的角度，液滴在基片的表面并不主动滑落，用牵引装置牵引液滴运动。运动的过程中，经过需要检测的区域，通过液滴的形态变化判断基片表面的均匀性。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210037532 U (45)授权公告日 2020.02.07 (21)申请号 20182