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集成电路技术集成电路工艺原理试卷(练习题库)
1、 用来做芯片的高纯硅被称为(),英文简称(),有时也被称为()。2、 单晶硅生长常用()和()两种生长方式,生长后的单晶硅被称为()。3、 晶圆的英文是(),其常用的材料是()和()。4、 晶圆制备的九个工艺步骤分别是()、整型、()、磨片倒角、刻蚀、()、清洗、检查和包装。5、 从半导体制造来讲,晶圆中用的最广的晶体平面的密勒符号是()、()和()。6、 CZ直拉法生长单晶硅是把()变为()并且()的固体硅锭。7、 CZ直拉法的目的是()。8、 影响CZ直拉法的两个主要参数是(
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