一种PVD载板清洗机.pdfVIP

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2023-08-07 发布于四川
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本实用新型公开了一种PVD载板清洗机，包括自动清洗设备、程式控制柜和远程终端，所述自动清洗设备包括依次并排设置第一酸洗浸泡槽、第二酸洗浸泡槽、清水浸泡槽、清水喷淋槽、加热烘干槽，所述第一酸洗浸泡槽、第二酸洗浸泡槽、清水浸泡槽、清水喷淋槽、加热烘干槽上方设置有行车机构和废气抽排系统，所述行车机构连接一次性承装多片载板的多片式花篮，所述加热烘干槽侧面设置有计算机程控及远程系统，所述远程终端通过程式控制柜和计算机程控及远程系统控制自动清洗设备。本实用新型通过计算机程序编辑控制准确完成编程中设定的每道清

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210023046 U (45)授权公告日 2020.02.07 (21)申请号 20192