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具有多区域引射器块的化学气相沉积设备.pdfVIP

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  • 2023-08-08 发布于四川
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具有多区域引射器块的化学气相沉积设备.pdf

    本公开提供了一种用于将一种或多种反应气体供应到化学气相沉积反应器中的引射器块。引射器块包括：多个第一反应气体分配通道，其介于一个或多个第一反应气体入口和多个第一反应气体分配出口之间，以将第一反应气体输送到反应器中；以及多个第二反应气体分配通道，其介于一个或多个第二反应气体入口和多个第二反应气体分配出口之间，以将第二反应气体输送到反应器中，多个第二反应气体分配出口被至少划分为第二反应气体第一区域和第二反应气体第二区域，第二反应气体第二区域至少部分地围绕第二反应气体第一区域。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210030883 U (45)授权公告日 2020.02.07 (21)申请号 20192

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