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用作光刻胶的碳掺杂金属氧化物的气相沉积.pdfVIP

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  • 2023-08-09 发布于四川
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用作光刻胶的碳掺杂金属氧化物的气相沉积.pdf

    本文公开的实施方式包括在基板上形成金属氧基光刻胶的方法。在一个实施方式中，此方法包括重复沉积循环，其中沉积循环的每次重复包括：a)将金属前驱物流入包括基板的腔室；和b)将氧化剂流入腔室，其中氧化剂与金属前驱物反应以形成金属氧基光刻胶。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116569106 A (43)申请公布日 2023.08.08 (21)申请号 202180083598.3 韦恩 ·弗兰奇　凯尔文 ·陈　 (22)申请日 2021.12

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