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飞秒激光直写光刻胶成膜树脂、负性飞秒激光直写光刻胶及其图案化方法.pdfVIP

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  • 2023-08-09 发布于四川
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飞秒激光直写光刻胶成膜树脂、负性飞秒激光直写光刻胶及其图案化方法.pdf

    本发明公开了一种飞秒激光直写光刻胶成膜树脂、负性飞秒激光直写光刻胶及其图案化方法。所述飞秒激光直写光刻胶成膜树脂的化学结构式如式(I)所示，该飞秒激光直写光刻胶成膜树脂为无规共聚物，重均分子量Mw在1.7‑2.2kDa之间，分布指数D在1.4‑2之间。本发明提供的负性飞秒激光直写光刻胶包括3‑5wt％所述的成膜树脂、5‑10wt％活性单体、0.1‑1wt％双光子引发剂和85‑91wt％溶剂。本发明所述的成膜树脂可以提高负性光刻组合物的抗刻蚀性，提升胶膜与晶圆的附着力，从而提高光刻图形的分辨率，改

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116554391 A (43)申请公布日 2023.08.08 (21)申请号 202310708192.0 G03F 7/20 (2006.01)

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