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本发明提供一种定心装置、定心方法以及基板处理装置，以优异的生产率使载置于基板支承部的上表面的圆板状的基板的中心与基板支承部的中心一致。本发明在水平面内，利用位于第一基准位置的第一抵接部件、位于第二基准位置的第二抵接部件以及位于第三基准位置的第三抵接部件在基板支承部的上表面上包围基板。并且，通过重复进行这三个抵接部件的微小移动，一边将距基板支承部的中心的距离保持为相同一边逐渐接近基板。在该接近移动中，抵接部件依次与基板抵接，使基板朝向基板支承部的中心水平移动。其结果，在利用这三个抵接部件将基板夹持
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116564872 A
(43)申请公布日 2023.08.08
(21)申请号 202310096029.3
(22)申请日 2023.02.07
(30)优先权数据
2022-017003 202
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