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2023-08-09 发布于四川
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本发明公开了高性能离子源栅网，包括固定板、限位槽和螺纹孔，所述固定板上下端面外圈均设置有套环，上部所述套环外部套接有上框架，下部所述套环外部套接有下框架，所述上框架上端面和下框架的下端面均开设有限位槽，上部所述限位槽内部设置有加速装置，下部所述限位槽内部设置有减速装置，所述上框架与下框架外圈右侧中部均开设有螺纹孔，所述螺纹孔与限位槽相连通，所述螺纹孔内腔设置有锁紧件，该装置结构简单，操作方便，有效提高镀膜的精度。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116564777 A (43)申请公布日 2023.08.08 (21)申请号 202211646513.0 (22)申请日 2022.12.21 (71)申请人杰莱特（苏州）精密仪器有限公司