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光刻胶参数及光刻工艺 1、正性光刻胶 RZJ-304 规格 RZJ-304： 25mpa·s，50mpa·s（粘稠度），配用显影液：RZX-3038 匀胶曲线 注：粉色为 50cp，蓝色为 25cp 推荐工艺条件 ①涂布： 23℃，旋转涂布，膜厚 1.0～3.5μm ②前烘： 热板 100℃×90sec ③曝光： 50～75mj/cm2（计算方法:取能量 60mj/cm2 取光强 400×102um/cm2， 则 60/40=1.5s） ④显影： 23℃，RZX-3038， 1min，喷淋或浸渍 ⑤清洗：去离子水 30sec ⑤后烘： 热板 120℃×120sec 2、正性光刻胶 S1813 规格 S1813，配用显影液为 ZX-238 匀胶曲线 推荐工艺条件 1（以具体工艺为参考） ①涂布： 23℃，旋转涂布，膜厚 1.23um（1.1～1.9μm） ②前烘： 热板 115℃×60sec ③曝光：150mj/cm2 ④显影： 21℃，ZX-238， 65sec，喷淋或浸渍 ⑤清洗：去离子水 30sec ⑥后烘： 热板 125℃×120sec 3、负性光刻胶 AZ-5214 规格 AZ-5214，配用显影液 AZ-300 匀胶表格（单位：微米） 推荐工艺条件 1（以具体工艺为参考） ①涂布：23℃，旋转涂布，膜厚 1.47um（1.14～1.98μm） ②前烘：热板 100℃×90sec ③曝光：240mj/cm2 ④后烘：115℃×120sec ⑤泛曝光：200mj/cm2 ⑥显影：21℃，AZ-300，60sec，喷淋或浸渍 ⑦清洗：去离子水 30sec ⑧坚膜：热板 120℃×180sec 注意： 紧急救护措施（对于光刻胶） ①吸入： 转移至空气新鲜处，必要时进行人工呼吸或就医。 ②皮肤接触： 肥皂水清洗后自来水清洗。 ③眼睛接触： 流动清水清洗 15 分钟以上，必要时就医。