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一种用于微型晶圆的强度检测装置.pdfVIP

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  • 2023-08-09 发布于四川
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一种用于微型晶圆的强度检测装置.pdf

    本实用新型涉及晶圆检测技术领域，公开了一种用于微型晶圆的强度检测装置，所述第一压板的下方设置有第二压板，所述放置台的内部靠近存放槽下方位置处开设有限位槽，且放置台的上表面靠近第二支架前侧位置处固定安装有控制开关，所述存放槽和限位槽相连通，且存放槽和限位槽的内部均设置有缓冲组件，所述缓冲组件的上方由左至后分别设置有第一夹持组件和第二夹持组件。本实用新型通过缓冲组件可以降低压板下压时对放置台造成的损坏，使其更加结实耐用，降低了放置台意外损坏的概率，通过第一夹持组件和第二夹持组件的结合使用，可以对晶圆

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210040134 U (45)授权公告日 2020.02.07 (21)申请号 20192

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