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- 2023-08-09 发布于四川
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本实用新型提供一种基于光子晶体的波导型锗光电探测器，所述锗光电探测器包括：硅波导结构；锗光电探测器，连接于所述硅波导结构，所述锗光电探测器的锗吸收区及所述锗吸收区外围的周边硅材料区中具有周期性排列的介质材料，以形成具有慢光效应的光子晶体结构。本实用新型与传统波导型锗光电探测器相比，可以实现更高效的光吸收效率，通过减小器件尺寸，实现低暗电流、低电容和高响应度光电探测器制备。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210040212 U
(45)授权公告日
2020.02.07
(21)申请号 20192
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