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本发明公开了一种HCL二次纯化柜增加支路管道的方法，其增加的方法包括以下步骤：S1、首先将相对应设置的氯化氢阀门分配箱和氯化氢出口通过相应的管道进行实时连接贯通，并且通过相对应的管道将高纯氮口、氮气口和泄压口进行连接贯通，同时需要沿着气体流动方向设置五路管路，且在五路沿着管路气体流动方向管体上依次设有手动隔膜阀、粒子过滤器、单向阀、压力计和真空发生器等设备。本发明在半导体外延工艺处理过程中，当产品工艺参数出现异常时，可以通过支路管道上的纯化器测试，判断是否由于纯化器失效造成工艺参数异常，大大减少
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116557775 A
(43)申请公布日 2023.08.08
(21)申请号 202310384990.2 C01B 7/07 (2006.01)
(22)申请日 2023.04.1
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