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本发明提供一种可以进一步增加二氧化碳气体相对于清洗水的溶解度并始终保持均匀的溶解度，从而使清洗水与基板之间的静电产生现象最小化或得到抑制的二氧化碳溶解模块和包括该模块的基板处理装置。为此，本发明公开了一种二氧化碳溶解模块和包括该模块的基板处理装置，所述二氧化碳溶解模块包括：主体，具有主管部和分支管部，所述主管部设置有传送清洗水的第一管路，所述分支管部结合到所述主管部，用于向所述第一管路侧供给二氧化碳气体；以及针型气体注入单元，结合到所述主体，用于向所述第一管路供给二氧化碳气体，所述二氧化碳溶解模
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113522070 A
(43)申请公布日 2021.10.22
(21)申请号 202110113836.2
(22)申请日 2021.01.27
(30)优先权数据
10-2020-0
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