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晶圆传送装置.pdfVIP

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  • 2023-08-10 发布于四川
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晶圆传送装置.pdf

    本申请实施例提供了一种晶圆传送装置，包括：移动臂及接合盘；其中，移动臂设置有抽气通道，该抽气通道可与抽气系统连通设置；接合盘的轴向贯穿有抽气口，该抽气口与抽气通道连通；连接部与移动臂柔性连接，当接合盘与晶圆的边缘接触时，以吸附晶圆。本申请实施例实现了接合盘能够根据晶圆的高低位置自适应取片位置，避免在取放片过程中对晶圆压伤和污染，从而可以有效提高晶圆生产的良品率，进而提高了经济效益。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210052727 U (45)授权公告日 2020.02.11 (21)申请号 20192

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