SJ_T 11496-2015红外吸收法测量砷化镓中硼含量.pdf

ICS 29. 045H 83备案号：50553-2015Si. :.中华人民共和国电子行业标准SJ/T 11496—2015红外吸收法测量砷化镓中硼含量Determination of boron concentration in gallium arsenide by infrared absorption2015 -10 -01 实施2015-04-30发布SJ发布中华人民共和国工业和信息化部2015 SJ/T 11496—2015前可本标准按照GB/T1.1一2009制定的规则起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。本标准由全国半导体设备与材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。本标准起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司。李翔、雪涛。本标准主要起草人：李静、何秀坤、刘兵、--.:茶=家- - SJ/T 11496—-2015红外吸收法测量砷化镓中硼含量1范围本标准规定了在77K时，用红外吸收法来测定砷化镓（GaAs）中替位硼含量的方法。本标准适用于电阻率大于10°Q·cm的半绝缘砷化单晶中替位硼含量的测试，测量硼含量的有效范围是从1×10l6 at·cm3到2×1018at·cm²。2　方法原理本标准利用低温红外光谱的特性