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本公开涉及映射装置。所述映射装置包括:基底;静电吸盘,在所述基底下面,并且与所述基底接触;以及防分离框架,在所述基底上,并且防止所述基底分离。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219513080 U
(45)授权公告日 2023.08.11
(21)申请号 202320418991.X
(22)申请日 2023.03.08
(30)优先权数据
10-2022-0031483
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