基于大尺寸硅片承载器框架的小尺寸硅片承载器.pdfVIP

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2023-08-12 发布于四川
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基于大尺寸硅片承载器框架的小尺寸硅片承载器.pdf

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本实用新型提供一种基于大尺寸硅片承载器框架的小尺寸硅片承载器，属于硅片承载器技术领域。该小尺寸硅片承载器包括：支撑框架，包括两个对称设置的支撑组件；承载结构，对称设置于两个所述支撑组件之间，且每个所述承载结构的两侧分别与其一所述支撑组件连接；所述承载结构包括对接板、承载板和支撑板，两个所述承载板相背离的一侧端面上部与所述对接板连接，所述承载板的下部与所述支撑板连接，所述承载板上部贯穿开设有若干纵向分布的放置槽。通过将承载结构设置成由对接板、承载板和支撑板组成的特殊结构，同时将支撑框架简化成两侧的

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219513064 U (45)授权公告日 2023.08.11 (21)申请号 202320410790.5 (22)申请日 2023.02.28 (73)专利权人北京市塑料研究所有限公司地址