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一种半导体薄膜表面刻蚀固定装置.pdfVIP

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  • 2023-08-12 发布于四川
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一种半导体薄膜表面刻蚀固定装置.pdf

    一种半导体薄膜表面刻蚀固定装置，涉及半导体制造技术领域，该半导体薄膜表面刻蚀固定装置，包括托板本体，所述托板本体的一侧固定连接有托板固定板，所述托板本体顶部的一侧开设有取出槽，所述托板本体的内部固定连接有第一固定板。该半导体薄膜表面刻蚀固定装置，根据衬底的尺寸进行选择限位孔，选好之后底部限位柱上升插入限位孔内，然后外部机械托板将衬底放入限位柱围好的空间内，机械托板活动连接于取出槽的内部，机械托板从取出槽内取出，达到固定衬底的目的，通过设置电机箱，控制固定盘和固定环的上升和下降，采用伺服电机可以精

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210073804 U (45)授权公告日 2020.02.14 (21)申请号 20192

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