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- 2023-08-12 发布于四川
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本实用新型公开了一种用于玻璃载板的表面清洁仪，该表面清洁仪包括：机架；固定机构，用于固定玻璃载板以及键合于所述玻璃载板正面的晶圆；喷淋机构，设置在所述机架上；所述喷淋机构用于朝所述玻璃载板背面喷射清洗溶剂；刷洗机构，设置在所述机架上；所述刷洗机构用于刷洗所述玻璃载板背面；转动机构，设置有转动端，所述转动端与所述固定机构连接；所述转动机构通过所述转动端驱使所述固定机构，使所述固定机构相对所述喷淋机构和所述刷洗机构转动。从而可以高效地对玻璃载板进行清洗，从而减少了人工操作过程。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219503288 U
(45)授权公告日 2023.08.11
(21)申请号 202320567855.7
(22)申请日 2023.03.17
(73)专利权人 长电集成电路 （绍兴）有限公司
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