一种转角OPC检查方法.pdfVIP

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2023-08-12 发布于四川
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一种转角OPC检查方法.pdf

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本发明提供一种转角OPC检查方法，提供经OPC修正后的目标层图形；对所述目标层图形的转角进行切角处理，得到切角斜边；在所述切角斜边增加标识层；在标识层内进行边缘放置误差检查，监测转角修正异常的结果。本发明对光刻版图的OPC修正后的目标层图形，将其转角进行特定切角处理，对处理后的缺角斜边，在其特定位置添加标识层，在标识层内进行常规的EPE检查，即可有效实现检查转角的OPC修正情况，克服传统OPC检查无法监测转角修正结果的缺点。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111308857 A (43)申请公布日 2020.06.19 (21)申请号 20201