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2023-08-12 发布于四川
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本发明提供一种降低研磨对象物表面的雾度的优异的研磨用组合物。通过本发明所提供的研磨用组合物包含磨粒、碱性化合物、水溶性高分子及水。上述水溶性高分子至少包含水溶性高分子P1与水溶性高分子P2。在此，上述水溶性高分子P1为缩醛化聚乙烯醇系聚合物，上述水溶性高分子P2为缩醛化聚乙烯醇系聚合物以外的水溶性高分子。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113631680 A (43)申请公布日 2021.11.09 (21)申请号 202080023228.6 (74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事