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一种小型可移动式等离子体表面改性设备.pdfVIP

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  • 2023-08-12 发布于四川
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一种小型可移动式等离子体表面改性设备.pdf

    本实用新型公开了一种小型可移动式等离子体表面改性设备，所述设备包括壳体，所述壳体内设置有真空反应装置、气瓶、偏压电源、控制器和真空泵等，所述真空反应装置内顶部设置有辅助电极，所述真空反应装置内底部中间位置固定设置有基片台，所述基片台上设置有电极；通过在电极间加载较高的偏压，从而在极板间产生辉光放电，反应气体进入反应区，形成辉光等离子体，发生等离子体渗氧、渗氮或者薄膜沉积，完成材料表面改性；本实用新型所述等离子体表面改性设备可以在一个设备上实现离子渗氧或渗氮以及薄膜沉积过程，设备连续性较高，使用方

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210065891 U (45)授权公告日 2020.02.14 (21)申请号 20192

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