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本发明涉及一种用于对样品表面(S)的局部高度和/或定向进行彩色共焦测量的设备(1)，该设备(1)包括：‑被配置为产生多色光束(9)的光源(2)；‑投影透镜(4)，包括具有轴向色差的透镜(4)，其被配置为将光束(9)施加到样品表面(S)；‑光学传感器，其被配置为接收由样品表面(S)反射的光束(9)，并测量在积分间隔内接收到的反射光束(9)的总能量；‑扫描系统(10)，其耦合到投影透镜(4)并被配置为移动光束(9)相对于投影透镜(4)的传播轴，从而使光学传感器测得的总能量对应于由样品表面(S)反射的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113490832 A
(43)申请公布日 2021.10.08
(21)申请号 201980079694.3 (74)专利代理机构 北京品源专利代理有限公司
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