一种真空样品舱及显微镜.pdfVIP

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2023-08-12 发布于四川
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一种真空样品舱及显微镜.pdf

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本实用新型提供了一种真空样品舱及显微镜，涉及电子显微镜技术领域，解决了现有技术中在样品分析时存在的样品氧化、污染、裂片风险的问题。第一真空腔室开设有第一开口；第二真空腔室开设有第二开口，第二真空腔室与第一真空腔室密封连接并通过第二开口和第一开口相互连通；滑移装置连接样品台，滑移装置能够驱动样品台通过第一开口和第二开口在第一真空腔室内部和第二真空腔室内部之间进行转移；探针密封连接于第二真空腔室，用于测试位于第二真空腔室内的样品；测试显微镜密封连接于第二真空腔室，用于观察位于第二真空腔室内的样品。本

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219513042 U (45)授权公告日 2023.08.11 (21)申请号 202320426876.7 H01J 37/26 (2006.01) (22)申请日 2023.03.