真空镀膜机抽气系统上具有导流作用的节流阀.pdfVIP

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  • 2023-08-12 发布于四川
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真空镀膜机抽气系统上具有导流作用的节流阀.pdf

本实用新型涉及一种真空镀膜机抽气系统上具有导流作用的节流阀,其包括方形管与栅格板,栅格板设置有若干,若干栅格板并排设置在方形管中,还包括:第一安装腔、第二安装腔、第一连接杆,第二连接杆、驱动机构与转动机构,第一安装腔设置在方形管的一侧,第二安装腔设置在方形管对称的另一侧,第一连接杆转动设置在栅格板靠近第一安装腔一端且进入到第一安装腔中,第二连接杆固定设置在栅格板靠近第二安装腔一端且进入到第二安装腔中,驱动机构设置在第一安装腔中用以驱动第一连接杆沿第一安装腔上下移动,转动机构设置在第二安装腔中用以

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210065911 U (45)授权公告日 2020.02.14 (21)申请号 20192

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