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本实用新型实施例提供了一种气液分离装置和化学水浴沉积设备。该气液分离装置包括:气液中转腔和气体回收件;其中,所述气液中转腔以纵向中轴线分为第一区域和第二区域;所述气液中转腔包括气液入口和出气口,所述出气口位于所述第一区域的腔壁中的侧壁,与所述气体回收件连通;所述气液入口位于所述第二区域的腔壁。通过对气液中转腔中气液入口和出气口的布置位置进行限定,实现出气口与气液入口之间的距离控制,使得通过气液入口进入气液中转腔的待分离的气液混合物远离出气口,减少气体回收件回收的气体中所聚集的液体,提高气液分离效
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210097155 U
(45)授权公告日
2020.02.21
(21)申请号 20192
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