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本实用新型涉及太阳能硅片生产领域。太阳能扩散机械手配套预吹气装置，该预吹气装置安装在硅片进出口位置，该预吹气装置为一个壁厚为9.5‑10mm、长度为420‑430mm、直径为49‑50mm的密封聚乙烯PE管，所述聚乙烯PE管的一侧面等间隔布置有10个直径为13‑13.5mm的喷气孔（1），靠左侧的喷气孔（1）到左端面的距离等于靠右侧的喷气孔（1）到右端面的距离，左端面和右端面中心各有一个直径为11‑12mm的进气口（2）。从而根本解决了由于扩散机械手分不开片子给工艺带来的影响。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210110715 U
(45)授权公告日
2020.02.21
(21)申请号 20192
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