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保持环及包括其的载体头.pdfVIP

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  • 2023-08-15 发布于四川
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保持环及包括其的载体头.pdf

    公开了一种保持环及包括其的载体头。就根据一个实施例的对基板进行夹紧的载体头的保持环而言，所述保持环设置为对所述被夹紧的基板的边缘区域进行包围，并且可形成相对于所述基板的边缘区域可变化的间距。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210099717 U (45)授权公告日 2020.02.21 (21)申请号 20192

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