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气相沉积设备的进气喷淋头.pdfVIP

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  • 2023-08-15 发布于四川
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气相沉积设备的进气喷淋头.pdf

    本实用新型提供一种气相沉积设备的进气喷淋头，包括：气源腔，其内通入带有气相反应前驱体的载气气体；至少一个气体喷淋通道，其与气源腔连通，用于将气源腔内的气体喷出；隔离气体腔底板，其顶面与气源腔的底面之间形成隔离气体腔，该隔离气体腔内通入隔离气体；至少一个隔离气体导流通道，其形成于隔离气体腔底板上，并与隔离气体腔连通，用于将隔离气体腔内的隔离气体喷出；其中，每个气体喷淋通道均插入任意一个隔离气体导流通道中。本实用新型提供的气相沉积设备的进气喷淋头，气体喷淋通道插入隔离气体腔底板上的隔离气体导流通道中

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210104071 U (45)授权公告日 2020.02.21 (21)申请号 20192

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