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- 2023-08-15 发布于四川
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本实用新型属于一种生产高纯三氯化硼的装置；包括原料液缓冲罐、产品罐、液氨储罐和循环水回水池，所述原料液缓冲罐通过原料液泵与第一精馏塔中上部的第一原料液进口相连，第一精馏塔底部的液相出口与第二精馏塔的第一原料液进口相连，第二精馏塔的顶部气相出口依次通过第二换热器的第一管程进口、第二换热器的第一管程出口、第一三通和产品泵与产品罐相连；具有自动化程度高、运行稳定和产品纯度至99.9995％高纯级别的特点；对电子行业特种气体的研究和半导体领域的发展提供保障，具有很好的经济和社会效益。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210103472 U
(45)授权公告日
2020.02.21
(21)申请号 20192
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