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一种金属氮化物硬质膜的制备方法，涉及一种金属膜的制备方法，所述方法包括以下过程：沉积技术的确定、弧源靶材的确定、弧源个数的确定、待镀膜金属基体的选择与前处理、预轰击清洗工艺的确定、沉积时间的确定、与沉积时间对应的反应气体分压的控制、与沉积时间对应的弧源靶弧电流的确定、与沉积时间对应的基体负偏压的确定、镀膜室温度的控制；该方法保证了膜层成分从金属基体到膜层表面的准线性连续变化，降低了膜层中成分差异界面由于成分变化较大而导致的内应力，从而保证了高附着力、高硬度和高热震性的同时实现，并具有良好的稳定性
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116590671 A
(43)申请公布日 2023.08.15
(21)申请号 202310654269.0
(22)申请日 2023.06.05
(71)申请人 沈阳大学
地址 110000
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