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本发明公开了一种基于物理气相沉积技术的肽薄膜蒸镀设备及方法。加热模块安装在沉积区域模块内部下侧，气体控制模块连通沉积区域模块内部；沉积区域模块的旋转升降装置安装在蒸镀沉积装置顶部，蒸镀沉积装置连通气体控制模块。方法包括：将基底粘贴在样品托底面，在蒸发皿上放置靶材；通过旋转升降装置的升降部分移动带动基底和靶材间的距离等于预设距离；气体控制模块抽气后降气压；通过加热丝和旋转部分对靶材旋转加热形成薄膜；注入氮气，取出基底底面蒸镀好的肽薄膜。本发明设备能够高效、精准、可控的制备肽薄膜，通过自组装方法制备
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116590669 A
(43)申请公布日 2023.08.15
(21)申请号 202310590362.X
(22)申请日 2023.05.24
(71)申请人 浙江大学
地址 310058
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