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本发明提供金属氧化物膜形成性组合物、使用其的金属氧化物膜的制造方法、及使金属氧化物膜的体积收缩率降低的方法，所述金属氧化物膜形成性组合物提供在400℃以下的加热时体积收缩被抑制的金属氧化物膜。本发明涉及的金属氧化物膜形成性组合物含有金属氧化物纳米团簇、封盖剂、基材和溶剂，前述金属氧化物纳米团簇的尺寸为5nm以下，前述封盖剂包含选自由烷氧基硅烷、酚、醇、羧酸及羧酰卤组成的组中的至少一种，在前述金属氧化物膜形成性组合物的固态成分中，无机成分质量相对于无机成分质量与有机成分质量的合计而言的比例为25质
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116601108 A
(43)申请公布日 2023.08.15
(21)申请号 202180085571.8 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所
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