一种氮化硅线切割方法.pdfVIP

下载本文档

6
0
约1.01万字
约 11页
2023-08-16 发布于四川
举报
版权申诉

一种氮化硅线切割方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开一种氮化硅线切割方法，包括：对金刚石线切割装置上安装环形金刚石线锯并张紧，利用夹具将待切割的氮化硅毛坯样块固定在所述承载台上；启动电机电机，驱动导向轮转动，带动环形金刚石线锯运动；控制升降装置将氮化硅毛坯样块抬升，以利用环形金刚石线锯对所述氮化硅毛坯样块进行切割；解决了现有的氮化硅线切割工艺采用往复式金刚石线切割，切割速度和切割精度有待提升的问题，可实现高速切割，耗时少，节省大量的时间；切割精度高，并且环形金刚石线锯可选择多种线径，可根据客户的需求来选用不同的线径，满足了客户的不同要求

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116587440 A (43)申请公布日 2023.08.15 (21)申请号 202310761374.4 (22)申请日 2023.06.27 (71)申请人埃克诺新材料（大连）有限公司地