基板处理装置及基板处理方法.pdfVIP

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2023-08-16 发布于四川
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基板处理装置及基板处理方法.pdf

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本发明提供一种基板处理装置及基板处理方法，该基板处理装置具备：药液喷嘴(31)，其包括朝向基板(W)的上表面内的目标位置(P1)沿相对于基板(W)的上表面倾斜的药液吐出方向(D1)吐出药液的药液吐出口(95)；飞沫遮蔽件(101)，其包括与基板(W)的上表面直接对置的遮蔽面(104)，遮蔽面(104)俯视下与目标位置(P1)重叠，当从下观察药液喷嘴(31)和遮蔽面(104)时，药液吐出口(95)的任意部分都配置于遮蔽面(104)的外缘的外侧或遮蔽面(104)的外缘上；以及喷嘴移动单元(38)，其

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116598224 A (43)申请公布日 2023.08.15 (21)申请号 202310109141.6 (22)申请日 2023.02.14 (30)优先权数据