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一种乳胶源涂覆方法及系统、乳胶源扩散方法及系统，乳胶源涂覆方法，包括：将放置有硅片的第一花篮放置在第一容器中，使硅片浸泡在第一容器盛放的乳胶源中；将第一花篮提起，对第一花篮进行抖动处理，以初步去除硅片上多余的乳胶源，多余的乳胶源被抖落至第一容器中；采用离心转动的方式转动第一花篮，以再次去除硅片上多余的乳胶源，并收集转动过程中从硅片上被甩落的乳胶源。本申请通过浸涂的方式实现乳胶源快速涂覆，浸涂的方式可以实现整篮硅片涂覆，大大提升效率，同时采用抖动处理以及离心处理可以保证乳胶源涂覆量的控制，并对抖动
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116586265 A
(43)申请公布日 2023.08.15
(21)申请号 202310210283.1 B05C 11/08 (2006.01)
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