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半球谐振子曲面镀膜厚度测量方法及应用.pdfVIP

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  • 2023-08-16 发布于四川
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半球谐振子曲面镀膜厚度测量方法及应用.pdf

    本发明涉及一种半球谐振子曲面镀膜厚度测量方法及应用，其主要是通过将柔性金属胶带粘贴在半球谐振子的曲面上；按照半球谐振子常规的镀膜工艺进行镀膜处理；待半球谐振子镀膜完成后，撕下柔性金属胶带，再平整粘贴在载玻片上；用无损膜层厚度测试仪器测量柔性金属胶带上的镀层厚度；本发明可以完整评估半球谐振子的薄膜情况，金属材料柔性带可以完全贴合谐振子曲面，能够精确测量薄膜厚度，还可以准确获得曲面上薄膜厚度的变化趋势。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116592803 A (43)申请公布日 2023.08.15 (21)申请号 202310881899.1 (22)申请日 2023.07.18 (71)申请人 西安精谐科技有限责任公司 地址

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