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一种移相器腔体镀膜装置,包括:框架体;及覆盖在框架体上的盖板。框架体的内部限定了用于将移相器腔体容设在内的收容槽,盖板上于对应于移相器腔体上需要镀膜位置的部位开设镀膜开口。当将需要镀膜的移相器腔体设置在收容槽内后,将盖板覆盖在框架体上,以便借助盖板而整体将移相器腔体遮挡,而只有移相器腔体上需要镀膜的部位是从相应的镀膜开口暴露出来。当将移相器腔体镀膜装置置于离子束镀膜设备内时,可实现仅对移相器腔体的特定面镀膜处理,而其他面保持不被镀膜的状态。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116598746 A
(43)申请公布日 2023.08.15
(21)申请号 202211737960.7
(22)申请日 2022.12.31
(71)申请人 京信通信技术(广州)有限公司
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