基板处理装置、控制器以及记录介质.pdfVIP

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  • 2023-08-16 发布于四川
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基板处理装置、控制器以及记录介质.pdf

本发明提供以下结构,具备:画面控制部,其使显示部显示保修部件管理画面,该保修部件管理画面将从构成装置的各部件或者由多个部件构成的各机构中选定为管理对象的上述部件或者上述机构作为保修部件而显示;收集部,其收集与上述保修部件相关联的部件数据;判断部,其将上述部件数据的累计值与预先设定的阈值进行比较,在超过该阈值的情况下,判断为更换时期;运算部,其计算上述更换时期;以及操作部,其分别控制上述画面控制部、上述收集部、上述判断部、上述运算部,关于上述机构以及构成上述机构的部件的上述部件数据,根据每个预定周

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 108885969 A (43)申请公布日 2018.11.23 (21)申请号 20168

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