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基于激光干涉的高精度计量装置研发及路面轮廓量测的量值溯源 基于激光干涉的高精度计量装置研发及路面轮廓量测的量值溯源摘要：随着现代制造业和科技的快速发展，对高精度计量装置的需求越来越高。传统的计量方法已经不能满足精度要求。本文针对这一需求，提出一种基于激光干涉的高精度计量装置，并将该装置用于路面轮廓量测。首先，本文介绍了激光干涉的基本原理，建立了自适应反射镜系统，增强了装置的精度和稳定性。接着，通过实验验证了该装置的高精度和可靠性，测量结果表明，该装置的精度能够达到亚百纳米级，满足工业制造领域的要求。最后，本文提出了路面轮廓量测的量值溯源方法，能够对量测数据进行可追溯的管理和校准，保证了量测