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本实用新型提供了振动传感器和音频设备，振动传感器包括具有内壁的腔体以及设于所述腔体内的弹性片、质量片和具有背腔的MEMS芯片，所述弹性片贴设于所述内壁上，所述质量片安装于所述弹性片背离所述内壁的侧面上，所述MEMS芯片安装于所述质量片背离所述弹性片的侧面上，所述内壁包括与所述弹性片固定连接的贴合面，所述贴合面向远离所述弹性片方向凹陷形成有凹腔，所述弹性片覆盖所述凹腔且所述弹性片上开设有与所述凹腔连通的第一通孔，所述质量片上开设有与所述第一通孔连通的第二通孔所述第一通孔和所述第二通孔连通所述背腔和
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210112275 U
(45)授权公告日
2020.02.21
(21)申请号 20192
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