原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供了一种靶材背板上孔的除锈装置及除锈方法，所述除锈装置包括研磨具，所述研磨具包括至少两段，呈阶梯圆柱状结构，直径较小的圆柱段为研磨头，其直径与靶材背板上孔的直径相匹配；直径较大的圆柱段为研磨柄，所述研磨头插入靶材背板上的孔中时，研磨头和研磨柄之间的阶梯平面卡在靶材背板的表面，两者之间设有砂纸。本发明所述除锈装置以研磨具为主体，通过对研磨具阶梯状结构的划分，尤其是研磨头与待研磨的孔位相匹配，通过研磨具的转动快速实现孔内的除锈；通过研磨具和背板表面之间砂纸的设置，使得砂纸覆盖区域内的纹路规则
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116587076 A
(43)申请公布日 2023.08.15
(21)申请号 202310775684.1
(22)申请日 2023.06.28
(71)申请人 宁波江丰电子材料股份有限公司
地址
文档评论（0）