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硅片缓存机.pdfVIP

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  • 2023-08-17 发布于四川
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硅片缓存机.pdf

    本实用新型公开了一种硅片缓存机，包括缓存机构和传输机构；传输机构具有同步移动的多组传送带；缓存机构设置在传送带移动方向上的目标位置，其具有同步升降的多组缓存架；每组缓存架上均设有沿竖直方向彼此间隔排布的多个支架，两相邻支架之间具有用于容纳硅片边部的竖直间隙；传送带上的硅片被传送至目标位置时，硅片的边部进入缓存架上与之等高的竖直间隙；缓存架上升时，支架撑托硅片上升，使得传送带上的硅片移位至缓存架上；缓存架下降时，缓存架上的硅片下料至传送带上。本实用新型的缓存架配置在硅片流水线生产的两套设备之间，运

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210122328 U (45)授权公告日 2020.03.03 (21)申请号 20192

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