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- 2023-08-17 发布于四川
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本文所述的实施方式一般涉及基板支撑组件和处理腔室。在一个实施方式中，一种基板支撑组件包括：基部；以及ESC，所述ESC具有设置在所述基部之上的多个二极管。所述二极管提供快速开关速度，从而实现快速吸紧和松脱操作。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210123727 U
(45)授权公告日
2020.03.03
(21)申请号 20192
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