材料分析测试方法第十一节 透射电子显微镜.pptVIP

* Double Tilt Holder 3mm size limitation 一、透射电子显微镜的结构 样品室：样品平移与倾斜装置 第二十二页，共三十七页，2022年，8月28日 * 一、透射电子显微镜的结构 样品室：样品平移与倾斜装置 第二十三页，共三十七页，2022年，8月28日 * 一、透射电子显微镜的结构 （2）成像放大系统 1874年，德国人阿贝(E. Abbe)从波动光学的观点提出了一种成像理论，把物体通过凸透镜成像的过程分成两步： 从物体发出的光发生夫琅禾费衍射，在透镜的像方焦平面上形成其傅里叶频谱图； 像方焦平面上频谱图各发光点发出的球面次级波在像平面上相干叠加形成物体的像。 电磁透镜成像和光学透镜成像一样可分为两个过程： 第一，是平行电子束与样品作用产生衍射波经物镜聚焦后在物镜背焦面形成衍射谱（衍射斑），即物的结构信息通过衍射谱呈现出来。该过程可用傅里叶变换来描述。 第二，是背焦面上的衍射斑发出的球面次级波通过干涉重新在像面上形成反应样品特征的像。该过程是傅里叶变换的逆变换。 第二十四页，共三十七页，2022年，8月28日 * 一、透射电子显微镜的结构 （2）成像放大系统 电子光学系统的核心： 三组电磁透镜、两个金属光阑和消像散器； 电磁透镜用于成像和放大，其数目取决于所需的最大放大倍数。光阑限制电子束，调整衬度和选择图像范围。 物镜：强激磁、短焦距、低像差、