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用于处理基板的面板和气体分配装置.pdfVIP

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  • 2023-08-17 发布于四川
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用于处理基板的面板和气体分配装置.pdf

    本实用新型涉及用于处理基板的面板和气体分配装置。公开一种用于在处理腔室内分配气体的装置。所述装置具有主体，所述主体由分配部分形成，所述分配部分被耦接部分环绕。加热器设置在所述分配部分内，以将所述主体加热到高温。桥接件延伸在所述耦接部分与所述分配部分之间。所述桥接件限制所述分配部分与所述耦接部分之间的热传递。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210123720 U (45)授权公告日 2020.03.03 (21)申请号 20192

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