一种集成OLED光源的表面量子点湿度传感器.pdfVIP

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2023-08-18 发布于四川
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一种集成OLED光源的表面量子点湿度传感器.pdf

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本实用新型公开了一种集成OLED光源的表面量子点湿度传感器，包括：表面量子点湿度传感层，表面量子点湿度传感层包括：在GaAs衬底(01)上从下到上依次设置的n型GaAs缓冲层、N层InGaAs掩埋量子点层、以及InGaAs表面量子点层；且在n型GaAs缓冲层上形成由InGaAs掩埋量子点层组成的第一台阶，以及在第一台阶上形成由InGaAs表面量子点层组成的第二台阶；在第一台阶的两侧及露出的上表面和第二台阶的上表面及两侧，设置有钝化层；在钝化层上设置有腐蚀出的两个引线孔，并在两个引线孔中分别设置有

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210136171 U (45)授权公告日 2020.03.10 (21)申请号 20192